上海仡捷电子科技有限公司 半导体设备维修 MKS SEMOZON 140 HP臭氧发生器维修 AX8200臭氧发生器维修 AX8506臭氧发生器维修 专业臭氧发生器维修 ASTEX微波电源维修 ASTEX AX2110微波电源维修 ASTEX AX2115微波电源维修 Varian直流溅射电源维修
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服务品牌:AE(Advanced Energy)、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射频电源,HiTek Power,Glassman、Spellman高压电源,Lambda、delta、sorensen、PowerTEN直流电源。
pinnacle、Diamond、PE、PEII、RFG、RFX、RFXII、APEX、RFDS、ATLAS、HFG、 RFPP(RF、LF)VHF、HFV等)、 美国ENI电源(DCG、RPG、DPG、ACG、OEM等)、德国Singulus电源等。
维修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP,**SMA的设备电源,包括直流、高压、脉冲、射频、微波、匹配器、RPSC、CHILLER。服务:拥有一批技术人才,进口品牌射频电源工程技术支持,消化吸收国外技术基础上发展,锻炼培养十几名的维修工程师。
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